一． 芯片廢水來源：

今天漓源環保給大家介紹一下芯片生產廢水處理工藝技術，集成電路芯片制造生產工藝復雜，包括硅片清洗、化學氣相沉積、刻蝕等工序反復交叉，生產中使用了大量的化學試劑如HF、H2SO4、NH3?H2O等。

二． 芯片廢水分類

將生產廢水處理分為：含氨廢水處理系統、含氟廢水處理系統、CMP研磨廢水處理系統及酸堿廢水處理系統。

2.1 含氨廢水處理系統

含氨廢水有兩部分，一部分是濃氨氮廢水，主要含氨氮和雙氧水，氨氮濃度達400～1200mg/L;另一部分是稀氨廢水，主要含氟化氨，氨氮濃度低于100mg/L。

2.2 含氟廢水處理系統

工藝中采用CaCl2溶液代替傳統去氟采用的消石灰，可減少氟化鈣污泥量、原料用量和堿液，同時，可避免粉態消石灰的逸散，防止管道堵塞，易于控制投加量，確保系統的穩定高效運行。

2.3 CMP研磨廢水處理系統

研磨廢水處理與含氟廢水處理很相近，若從節省投資的角度考慮，可以采用同一系統同時處理含氟和CMP研磨兩股廢水，否則，將增加額外的投資。

三． 處理工藝

3.1 二級反應+一級助凝十一級沉淀，系統出水氟離子濃度基本達到<Zomg/L要求;若增加一級沉淀，即用二級反應+沉淀+一級反應+沉淀的兩階段沉淀反應，系統出水氟離子濃度可控制在10mg/L以下。

3.2 濃氨吹脫吸收工藝—含氟廢水兩階段沉淀工藝(含氟廢水與CMP研磨廢水混合處理)—三級酸堿中和處理工藝。

3.3 兩級反應池、酸堿原液直接投加，運行出水不穩定且藥劑消耗量很大。

3.4反沖洗過濾器，是一種利用濾網直接攔截水中的雜質，去除水體懸浮物、顆粒物，降低濁度，凈化水質，減少系統污垢、菌藻、銹蝕等產生，以凈化水質及保護系統其他設備正常工作的設備。經反沖洗過濾器處理后的水質不但達到了規定的廢水排放標準，經反沖洗過濾器處理后的水源可重復、循環利用有效的節省了水資源。

四、芯片生產廢水嚴重的污染的水資源及環境，有效治理芯片生產廢水已刻不容緩。

以上為漓源環保給大家介紹的芯片生產廢水處理工藝技術，更多的污水處理知識請咨詢漓源環保。

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